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D 07-15マスフローコントローラ
D 07-15は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-15は七星流量計が顧客の流量安定性へのニーズに特化して開発した高安定流型製品である。
製品の詳細
特徴
•高安定流タイプ
•小容量、低変動
•ゴムシール、アナログ回路のMFC
•P 20ゴールドフィンガープラグ採用
技術パラメータ
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プロジェクト |
D07-15 |
D07-15A |
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流量仕様 |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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せいど |
±1% F.S. |
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線形 |
±0.5% F.S. |
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くりかえしせいど |
±0.2% F.S. |
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レスポンス時間 |
≤4 sec |
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作動差圧範囲 |
(0.1 ~ 0.3) MPa |
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さいだいどうさあつりょく |
0.5 |
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たいあつ |
3 MPa |
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動作環境温度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
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入出力信号 |
0 V ~+5.00 V（入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下） |
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電源装置 |
+15V 50mA |
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じゅうりょう |
0.85 kg |
0.9 kg |
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